Ngay từ năm 1738, nhà khoa học Thụy Sĩ Daniel Bernoulli đã sử dụng phương pháp chênh lệch áp suất-dựa trên phương trình Bernoulli đầu tiên-để đo lưu lượng nước. Sau đó, GB Venturi của Ý đã nghiên cứu việc sử dụng ống Venturi để đo lưu lượng và công bố phát hiện của mình vào năm 1791.
Năm 1886, Clemens Herschel người Mỹ đã áp dụng nguyên lý ống Venturi để tạo ra một thiết bị thực tế dùng để đo lưu lượng nước.
Từ đầu đến giữa thế kỷ 20, các nguyên tắc đo lường đã được thiết lập dần dần trưởng thành; các nhà nghiên cứu không còn giới hạn suy nghĩ của họ trong các phương pháp hiện có mà thay vào đó bắt tay vào những con đường khám phá mới.
Đến những năm 1930, các phương pháp đo tốc độ dòng chảy của chất lỏng và chất khí bằng sóng âm bắt đầu xuất hiện. Tuy nhiên, trước Thế chiến thứ hai, có rất ít tiến bộ đáng kể trong lĩnh vực này; phải đến năm 1955, lưu lượng kế Maxson-sử dụng phương pháp tuần hoàn âm thanh-đã được giới thiệu nhằm mục đích đo lưu lượng nhiên liệu hàng không.
Từ những năm 1960 trở đi, thiết bị đo lưu lượng bắt đầu phát triển theo hướng có độ chính xác cao hơn và thu nhỏ hơn.
Với sự tiến bộ nhanh chóng của công nghệ mạch tích hợp, lưu lượng kế siêu âm kết hợp công nghệ vòng khóa pha{0}}đã được áp dụng rộng rãi. Hơn nữa, việc ứng dụng rộng rãi máy vi tính đã nâng cao đáng kể khả năng đo lưu lượng; ví dụ, việc tích hợp máy vi tính vào Máy đo vận tốc Doppler Laser cho phép xử lý các tín hiệu phức tạp hơn.